※ 本文件起草单位：北京中科科仪股份有限公司、北京东方计量测试研究所、兰州空间技术物理所、成都中科唯实仪器有限责任公司

※ 本文件规定了磁悬浮分子泵稳定性及环保性能的评级指标定义、评级指标测试方法和性能分级判定依据等。本文件中,使用振动值和集成度评价磁悬浮分子泵稳定性能,使用噪声值和空载电机功耗评价磁悬浮分子泵环保性能。

※  本文件适用于工业用磁悬浮分子泵,特殊定制磁悬浮分子泵除外。