罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种旋转式容积泵，但不能单独使用，可以根据不同的工作压力和工艺条件选配不同的前级泵（螺杆真空泵、液环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、往复真空泵等）串联组成机组来达到大抽速、中高真空的任何真空系统中。