※ 本文件起草单位：北京东方计量测试研究所、北京真空电子科技有限公司、上海繁枫真空科技有限公司、兰州空间技术物理研究所、中国航发南方工业公司计量中心、清华大学、北京华北莱茵光电技术有限公司

※ 本文件规定了固体材料在真空条件下放气流量的检测方法,检测装置、检测步骤、检测结果的处理。本文件适用于累积法、对称结构流导法测量材料放气流量(对于能确定表面积的样品,检测项目为材料放气率),其中累积法的范围为5X10-2 Pa·m/s~1X10-6 Pa·m/s,对称结构流导法的测量范围为1X10-6Pa·m/s~1X10-11Pa·m/s。