气体质量流量控制器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括： 集成电路工 艺设备，如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机； 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

        CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、 测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0~5V 模拟信号，4~20mA 或 0~20mA 模拟信号，可以使用双电源(±8~±16 VDC)或单电源(+14~+28 VDC)。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件 提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 Digital MFC。CS200-C 与 CS200-D 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中 CS200-C 金属表面符合 SEMI 标准的要求。