11月15日-19日，中国规模最大、最具影响力的科技类展会——第二十五届中国国际高新技术成果交易会（以下简称“高交会”）在深圳隆重举办，中科科仪携多款高端科学仪器装备和真空产品重装亮相国科控股高端装备板块。展会期间，中科科仪在新产品新技术发布活动中带来了两场精彩报告，展示了中科科仪在电子光学和真空领域的多项前沿技术及创新成果。

16日上午，中科科仪总经理助理兼科仪光电总经理孟祥良在高交会新产品新技术精品发布活动中作了《场发射枪扫描电子显微镜》的报告，带来了具有自主知识产权的国产高分辨场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100并进行详细介绍。

扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，是中国科技发展中不可或缺的高端科学仪器。中科科仪具有50多年的电镜研制历史，具备深厚的电子光学技术基础，是国内率先实现扫描电子显微镜产业化的企业，在产品的研发和制造方面拥有丰富的经验。基于国家重大科学仪器设备开发专项，中科科仪研发推出了我国首台具有自主知识产权的高分辨场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100，最佳分辨率优于0.9nm，具有自主设计制造的低像差物镜、突破电子束镜筒加速技术、自主研制的电子光学智能化控制系统等技术优势。目前该设备已完成科技成果转化及产业化落地，并形成批量销售，深受各行业用户好评，为我国纳米科技、材料分析、分子生物学研究与半导体检测领域提供技术支撑，取得了显著的经济效益和社会效益。

18日下午，中科科仪真空技术研发中心主任宋海燕在高交会新产品新技术发布活动中作了《中科科仪真空获得及检测系列产品发布会》的报告，带来了系列磁悬浮分子泵、系列仪器分子泵和系列氦质谱检漏仪等真空获得及检测产品，并分享产品的技术特点和行业应用。

近年来，聚焦刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体前道工艺的更高要求，中科科仪攻克多项核心技术，研制推出了具备卓越可靠的耐腐蚀能力、安全稳定的防沉积能力、紧凑便利的高集成设计、配置灵活的分体式设计等性能特点的半导体行业专用磁悬浮分子泵，提升我国集成电路制造装备核心零部件国产化水平。面向分析仪器行业，中科科仪开发了紧凑型高性能仪器专用分子泵，核心技术和加工工艺完全自主可控，性能出色、品质卓越，满足分析仪器严苛要求，逐步解决国产科学仪器"空心化"问题。在真空检漏技术方面，中科科仪攻克E-13高灵敏检漏技术，开发系列检漏仪新品，具备检测精度高、检漏压强大、启动时间短、响应速度快等性能特点，可应用于新能源、航空航天、汽车工业、电力电气、压力容器等领域。

除此之外，中科科仪KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜和系列磁悬浮分子泵荣获第二十五届高交会“优秀产品奖”，对于中科科仪来说这既是荣誉，又是对这两款获奖产品技术前沿性、创新性及领先性的认可。

未来，中科科仪将继续秉承“创新科学仪器，发展一流企业”初心使命，发挥中国高端科学仪器装备和真空技术领军者作用，加强核心技术攻关与联合攻关，加快推进电子光学仪器和真空获得设备的研制进程，提升国产化替代水平，助力解决高端科学仪器装备和核心零部件的“卡脖子”问题，为我国新时代科技强国建设贡献力量！

文章来源：中科科仪微信公众号