11月30日，工信部公示《国家鼓励发展的重大环保技术装备目录（2023年版）》目录，其中涉及泵类装备如下：

其中，大型离心式引水泵、高速离心透平真空泵、潜水轴混流泵入选该目录。高速离心透平真空泵被应用于环境污染治理过程余热资源化利用，所需真空度为20kPa～80kPa，属低真空范围。

作为一种能够产生高真空的设备，高速透平真空泵以透平为主要运动部件，利用高速转动的转子带动气体流动，达到排放气体，从而实现抽真空的目的。本文将详细介绍高速透平真空泵的原理及应用，让大家了解这种设备的工作原理及其不同领域的应用。

工作原理

高速透平真空泵显著的特点就是采用透平技术，因此其工作原理具有以下特点：

?排气过程：待排气体通过吸气口进入泵体内，被透平转子压缩后排出。整个排气过程都在高速的情况下进行，其速度可高达数千转每分钟，所以对于压缩气体的排放效率极高。

?真空吸引过程：高速透平真空泵通过强制气体流动的方式产生真空吸引效应，让泵体内的气体达到较高的真空度。由于透平的特殊结构，所以能够排放更多的气体，提高真空度的同时还能提高排放效率。

?密封性能：泵体内部的密封性能十分重要，不仅可以防止气体泄漏，还可以减少气体流动时的压力损失。高速透平真空泵采用了先进的密封技术，减少气体泄漏，提高真空度。

结构及类型

高速透平真空泵的结构十分庞大，根据运动部件不同，可以分为以下几类:

?直线型高速透平真空泵：透平转子直线排列，具有小型结构和高度集成特点。适用于核能、航空、通讯设备等领域。

?磁悬浮型高速透平真空泵：使用磁悬浮技术，减小了部分机械部件的磨损，减轻了运动阻力，具有广泛的应用前景。

?涡轮膜型高速透平真空泵：透平转子采用弯曲涡轮膜结构，更适合于工业生产线等需要大量气体抽取的场合。

?散热器型高速透平真空泵：通过增加散热器的数量和面积，减少工作过程中的温度升高。

透平式真空泵主要由几部分组成：主机、润滑油系统、控制系统和辅件等。

主机：由泵头、增速部件、电机、底座组成。结构剖面如图所示，蜗轮叶轮分别和各个扩压器、蜗壳组成一个立泵头，与连接体、轴封等部件悬臂安装于齿轮箱两侧。运转时，电机通过膜片式联轴器带动增速箱然后带到叶轮高速旋转，连续压缩气体抽取真空。

润滑油系统：由油箱、主辅油泵、油冷却器、油过滤器、溢流阀、单向阀组成。

控制系统：透平真空泵转速较高，属于精密旋转机械。为确保机组可靠运行，配置了完善的检测控制，包括：气液分离器液位检测、报警、联锁主机；各抽吸点真空度检测、报警、联锁旁通防喘阀；各轴承温度检测、报警；高速转子振动检测、报警；润滑油温度压力检测、报警、联锁主机。

辅机：主要包括气液分离器、入口过滤器和消音器。

应用领域

高速透平真空泵在许多领域都有应用，这些领域包括：

●半导体制造：高速透平真空泵可以将半导体生产所需的气体抽出，以减少气体的杂质含量，保证产品的品质。

●真空炉：在真空炉内部实现高真空度，可以大大提高工艺效率和产品质量。

●化学反应实验室：可用于化学反应的半自动化和自动化。高速透平真空泵可将气体快速排出到另外一个容器中，提高了实验室的工作效率。

●医疗领域：高速透平真空泵在医疗行业也有应用。例如，作为人工心肺机的关键部位和真空吸引器主要组成部分。

高速透平真空泵效率高且节能，结构紧凑节约空间，其大功率和高速运转可使其在短时间内达到所需真空度，适用于超洁净区、实验室和半导体加工等场合。但此类泵噪声较大、维护成本较高，由于结构的原因也不适合长时间运行。所以，高速透平真空泵的优点和缺点都需要根据实际情况进行评估。

 

摘自：iVacuum真空聚焦微信公众号