近日，中科九微研制的“MTP系列磁悬浮复合分子泵”入选北京市2024年首台（套）重大技术装备目录（半导体领域）。这一成果标志着中科九微在半导体真空技术领域取得了重要突破，彰显了公司在自主创新方面的强大实力。

“MTP系列磁悬浮复合分子泵”是中科九微承担的国家重大攻关专项研究成果，是半导体制造过程中不可或缺的关键设备之一。它的成功研制和推广应用，将有力提升我国半导体产业的自主可控能力，进一步推动半导体产业向高端、智能、绿色方向发展。

MTP系列磁悬浮复合分子泵产品特点：一体化结构设计、任意角度安装、噪音低、洁净无油、免维护、转速可调、集成智能管理系统、断电自动保护系统、冲击预警保护系统、故障诊断功能、温度管理系统、多种通讯方式。

文章摘自：中科九微微信公众