1月16日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司的IPO申请在北交所成功过会。

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称：中科仪）是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。其中，干式真空泵主要应用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造领域，真空科学仪器设备则主要面向国家重大科技基础设施和科研领域。

中科仪是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，也是唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业及集成电路设备制造企业，也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备。中科仪的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。

中科仪拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司及其前身先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项，中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项，国家重点新产品6项。

此次北交所IPO，中科仪拟募集资金8.25亿元，重点用于干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设和新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发，助力核心产品产能提升与技术迭代，强化在半导体及真空设备领域的竞争优势。

“十五五”时期是我国集成电路、高端仪器等领域实现自主可控的关键发展期。中科仪将以上市为新的起点，牢记使命担当，实现技术价值与市场价值的同步跃升，为中国高端装备制造业的自主可控贡献更为坚实的力量。

摘自：国科科仪微信公众号