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中科仪:国内唯一14nm及以下先进制程实现批量应用的真空泵制造商
发布时间: 2026-04-16

作为国内集成电路领域出货量最大的干式真空泵龙头,中科仪打破了欧美、日本企业在高端半导体真空设备领域的长期垄断格局。

公司是国内唯一在14nm及以下先进制程实现批量应用的国产厂商,且全面覆盖清洁、中等、苛刻三类芯片制造工艺,技术壁垒与先发优势显著。客户层面,产品已实现国内主流晶圆厂全覆盖,并通过台积电、SK海力士等全球头部厂商验证,国际认可度持续提升,确立了在国产替代浪潮中的核心领军地位。

摘自:上市企业研报微信公众号

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